滾珠絲杠

滾珠絲杠

超高真空定位


奧古斯特·斯坦邁爾開發(fā)了用于超高真空的滾珠絲杠。


它們用于一系列通用的線性載物臺(tái)，用于具有30 nm分辨率的新型成像方法。這需要多個(gè)定位系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)10 nm的極高靜止穩(wěn)定性。滾珠絲杠使定位技術(shù)特別穩(wěn)定和精確 - 取決于設(shè)計(jì)，也快速耐用。這些系統(tǒng)在保羅·謝雷爾研究所（PSI）使用。該技術(shù)涵蓋了從研究到醫(yī)療技術(shù)和半導(dǎo)體技術(shù)的廣泛應(yīng)用。

用于超高真空©應(yīng)用的滾珠絲杠 奧古斯特·斯坦邁耶
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直線平臺(tái)的一個(gè)重要部件是一個(gè)特殊的滾珠絲杠，其干燥速度可達(dá)50 mm/s，使用壽命可達(dá)5 km。使用超高真空潤滑劑時(shí)，可實(shí)現(xiàn)的使用壽命可延長至 100 公里。在高達(dá) 10-6 mbar 的較高分壓下，由于該系列具有更好的潤滑劑和更耐用的材料，因此可以在真空中實(shí)現(xiàn)數(shù) 1，000 km 的距離。使用陶瓷球，滾道涂層，特殊的螺紋研磨工藝和優(yōu)化的撓度，即使沒有潤滑，滾珠絲杠也可以實(shí)現(xiàn)良好的運(yùn)行性能。